应用范围:• 数码相机镜头 • 隐形眼镜• 人工晶体以 • CD/DVD光学读取头
特点:• 非接触、*式测量• 样品对中快速简单• 测试件调校方便,测量快速技术规格:• 测量方式:反射法和透射法• 可测量参数:表面面形、波前、曲率半径• 可测量高非球面度表面(高可与球面偏离7度)• 测量头摆动范围:+/-90°• 高空间解析度:点分辨率可达μ级• 高精度气浮轴承:径向、轴向精度优 于 0.05μm• 可测量样品直径:40mm(可扩展至100mm)• 曲率半径测量范围:80mm,凹/凸• 表面面形分辨率:约1nm• 软件包功能: - 表面面形测量数据处理 - 对中误差修正 - 测量数据输出 - 参考表面数据输入 - 表面面形图二维/三维显示