|
|
|
EFL+/- |
OptiSpheic |
OptiSpheric L |
OptiSpheric Autofocus |
OptiSpheric L Autofocus |
OptiSpheric 1000 Autofocus |
|
标准测量范围 |
+5 … + 250mm
-5 … -250mm |
+5 … + 500mm
-5 … -500mm |
+5 … + 250mm
-5 … -250m |
+5 … + 500mm
-5 … -500mm |
+5 … + 1000mm
-5 … -1000mm |
|
扩展测量范围 |
1 … 5mm |
1 … 5mm |
1 … 5mm |
可达 1000mm |
可达2000mm
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样品直径 |
1 … 35(75)mm |
1 … 35(75/150)mm |
1 … 35(75)mm |
1 … 35(75/150)mm |
1 … 75(150)mm |
|
重复性 |
0.03
… 0.2% | ||||
|
测量精度 |
5 … 25mm : 0.1 … 0.3%
25 … 500mm : 0.03% … 0.1%
500 … 1000mm : 0.05% …
0.3% | ||||
|
测量时间 |
手动聚焦：3 … 20秒
测量时间：鼠标点击 |
*测量：5 … 8秒
后续测量： 3 …
5秒 | |||
|
在轴MTF测量 |
OptiSpheic |
OptiSpheric L |
OptiSpheric Autofocus |
OptiSpheric L Autofocus |
OptiSpheric 1000 Autofocus |
|
测量范围 |
*MTF测量： 5 … 75mm
EFL |
*MTF测量： 5 …
75mm EFL |
*MTF测量： 5 … 75mm
EFL |
*MTF测量： 5 …
75mm EFL |
*MTF测量： 5 …
100mm EFL |
|
测量模式 |
手动聚焦，自动测量 |
自动聚焦，自动测量 | |||
|
波长范围 |
400 …
750(1000)nm | ||||
|
空间频率 |
0 …
300(500)lp/mm | ||||
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刀口分析
● 重复性
● 精
度 |
2%
3% | ||||
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狭缝评价
● 重复性
● 精 度 |
1%
2% | ||||
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BFL/FFL
曲率半径 |
OptiSpheic |
OptiSpheric L |
OptiSpheric Autofocus |
OptiSpheric L Autofocus |
OptiSpheric 1000 Autofocus |
|
测量范围 |
+/-3…+/ -250mm |
+/-3…+/ -400mm |
+/-3…+/ -200mm |
+/-3…+/ -400mm |
+/-5…+/ -500mm |
|
重复性 |
0.03 … 0.2% | ||||
|
测量精度 |
0.05% … 0.3% | ||||
|
透射和反射法测量中心偏差 |
OptiSpheic |
OptiSpheric L |
OptiSpheric Autofocus |
OptiSpheric L Autofocus |
OptiSpheric 1000 Autofocus |
|
测量范围 |
+/-3…+/ -250mm |
+/-3…+/ -400mm |
+/-3…+/ -200mm |
+/-3…+/ -400mm |
+/-5…+/ -500mm |
|
|
可扩展到+/- 2000mm | ||||
|
重复性 |
+/- 0.1微米或者+/-1秒 | ||||
|
测量精度 |
+/- 0.2微米或者+/-2秒 | ||||
|
测量时间 |
3 … 15秒 | ||||
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角度测量 |
OptiSpheic |
OptiSpheric L |
OptiSpheric Autofocus |
OptiSpheric L Autofocus |
OptiSpheric 1000 Autofocus |
|
分辨率 |
0.01秒 | ||||
|
重复性 |
0.2秒 | ||||
|
测量精度 |
1秒 | ||||
