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应用:
Super-Spherotronic,
Super-Spherotronic HR, UltraSpherotronic, Compact
Spherotronic等都可以应用于下述场合的再生产或者实验室的曲率半径测量
• 凹面/凸面光学元件
• 研磨或抛光的光学元件
•
球面及球体
• 对样板
•
配合专用的测量环，还可以用于圆柱面的曲率半径测量
特点:
•
主体结构使用厚重的不锈钢制造，与检测头之间的同心性优于1微米 (0.00004")
•
测量环用经过热处理的不锈钢制造并超高精密加工而成，每个测量环都带有标定数据。测量精度直接溯源于NIST标准
•
支撑球用红宝石或者碳化钨制造，避免热或者机械变形。支撑球同样精密地同心定位，定位精度优于1微米 (0.00004")
•
采用高精密的Heidenhain编码器，其误差小于0.2 微米 (0.000008")
• 用于零位标定的平晶面形精度为：λ/10
•
一套标准测量环直径范围为7.8---120mm(其他直径的根据客户要求定做)
型号系列:
• Super-Spherotronic HR •
UltraSpherotronic • Compact Spherotronic
技术参数:
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型 号 |
Super-Spherotronic HR
精密球径仪 |
Ultra-Spherotronic
超精密球径仪 |
Spherocompact:
紧凑型球径仪 |
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测量范围 | |||
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曲 率(凸) |
+3.5mm～∞ |
+3.5mm～∞ |
+2.5mm～∞ |
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曲 率(凹) |
-6mm～∞ |
-6mm～∞ |
-4mm～∞ |
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线性编码器行程 |
+/- 30mm |
+/-30 mm |
+/-12.5mm |
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被测样品直径 |
6～500mm |
6～500mm |
5～500mm |
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精度 | |||
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线性编码器分辨率 |
0.1μm |
0.01/0.05/0.1μm |
0.1μm |
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线性编码器*精度 |
±0.2μm |
±0.05μm |
+/-0.2μm |
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曲率测量精度 |
0.01%. |
0.005%. |
0.05% |
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精密球环（选项） |
精密球环 |
精密红宝石球环（选项） | |
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标准环直径分别为：7.8mm、14mm、20mm、28mm、38mm、60mm、90mm、120mm |
标准环直径分别为:12.5mm、25mm、50mm,
75mm、100mm、125mm | ||
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可选择：48mm, 75mm, 150mm, 225mm
(特殊尺寸需求可订购) |
特殊尺寸：6mm、150mm、 225mm (特殊尺寸需求可订购) | ||
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球径仪使用的精密平晶（选项）：Ф30mm λ/10、 Ф50mm λ/10、
Ф100mm λ/5、 Ф150mm λ/3 | |||
